將彈性敏感元件和應(yīng)變片的作用集于單晶硅膜片一身，即采用集成電路工藝在單晶硅膜片上擴散制作電阻條，并采用周邊固定結(jié)構(gòu)制成，利用彈性敏感元件和應(yīng)變計將被測壓力轉(zhuǎn)換為相應(yīng)電阻值變化的壓力傳感器。該壓力傳感器適用于半導(dǎo)體行業(yè)和平板顯示產(chǎn)品工業(yè)、微電子工業(yè)、氣體管路系統(tǒng)(氣罐 氣柜 散裝氣體輸送)以及超高純凈水供應(yīng)

介質(zhì)壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發(fā)生變化，和用電子線路檢測這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個對應(yīng)于這個壓力的標準信號。該PFA壓力變送器采用抗腐蝕設(shè)計，適合強腐蝕環(huán)境下的壓力測量，適合耐溶劑和耐化學品的微電半導(dǎo)體，LCD工業(yè)，化工廠。