單晶生長爐溫控自動化
該方案采用溫梯法控制方法,在晶體生長爐內部形成階梯溫場,實現(xiàn)晶體生長的精確控制,晶體生長階梯溫場的波動及時響應和反饋,直接決定了晶體的生長速度緩慢、一致性、成品率等關鍵特性。因此,溫控算法的好壞直接單晶體的質量和成品率,降低藍寶石單晶體的制備成本。
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該方案采用溫梯法控制方法,在晶體生長爐內部形成階梯溫場,實現(xiàn)晶體生長的精確控制,晶體生長階梯溫場的波動及時響應和反饋,直接決定了晶體的生長速度緩慢、一致性、成品率等關鍵特性。因此,溫控算法的好壞直接單晶體的質量和成品率,降低藍寶石單晶體的制備成本。
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